第56章 真正的大牛(2/2)

不过紧跟着，他又皱起了眉头，说道：“但是用电子束，速度很慢啊，它要逐一进行烧蚀，速度是光刻机的百分之一，用电子束只适合少量制造。”

“呵呵。”连学志笑了起来，“陈飞，你知道古代四大发明吧，里面有个活字印刷术。如果将光罩，像文字一样，制成一个一个的小模块，然后重复使用呢？”

轰，陈飞顿时有种醍醐灌顶的感觉，全息影像中，图像一变，只见一小块一小块的光罩，被组合在一起，形成了新的图案，然后电子束通过光罩，在晶圆上绘出了大量图形，缺失的部分，再用电子束一点一点的补齐。

速度瞬间快了非常多。